发表时(shí)间: 2021-09-06 11:30:38
作者(zhě): 成都云顶集团3118和朗锐芯科技发(fā)展有限公司
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测控设备领域上我(wǒ)国始终落后(hòu)与国外发达国家(jiā),先进设备都需要(yào)从国(guó)外购买,去(qù)年疫(yì)情贸易(yì)进(jìn)出口的封(fēng)锁,让国内买不到国外先进(jìn)设备而(ér)无法进行产品(pǐn)制造,也(yě)大多人明白将(jiāng)中(zhōng)国(guó)制(zhì)造转变为(wéi)中国(guó)“智”造迫在眉(méi)睫。而测控系统作为打(dǎ)造国之重(chóng)器的重要技(jì)术装备(bèi),其国产化进(jìn)程更是刻不容缓。
测控设备国产化,不仅可(kě)将用户需(xū)求体现在产品(pǐn)上,更多地提高可用(yòng)性,还能全面提高国产测控设备的核心竞争力,实现弯(wān)道超车。
虽前景光明,但测控设备的国产化绝非易事,其包括(kuò)系统级的国产化、OS级(jí)的国产化(huà)和(hé)芯片级的国产化“三(sān)步走战略(luè)”,涉及软(ruǎn)件、硬件、算法等众多层面,如何在保(bǎo)证系统功能和可靠(kào)性的同(tóng)时(shí),快速(sù)实现国产化、自主可(kě)控的测控系统,打造一(yī)张(zhāng)张(zhāng)闪亮的中国“智”造名片,成为各国内企(qǐ)业亟(jí)待解决的难题。
纵观半导体的制(zhì)造流(liú)程(chéng),晶圆针测是(shì)非常重要的一环(huán)。检测晶圆的响应参数进行特(tè)性分类,需通过电压输出激励待(dài)测晶圆,再由(yóu)高速(sù)的(de)模拟量监测给电过程中的响应特性,同(tóng)时需(xū)要大量DiDo的开关量(liàng)控制探针台位(wèi)置。
针对上述需求,为该(gāi)晶圆(yuán)针测环节提供了一款具有16位高分辨(biàn)率和(hé)高达1M的采集速度,并可(kě)同时输出两路(lù)波形的高速采集与控制卡(PCIE-1816H),另外依据不同的数字控制点选配了多(duō)款控制卡(PCI-1737/1757/1753 IO)。基于三大维度,成功助力晶圆检测设备实现国产化。
在智(zhì)能制(zhì)造的大趋势下,数控机床正向(xiàng)着高精度、高速度、高生(shēng)产效率(lǜ)的(de)方向发展,这对机床(chuáng)的(de)动态(tài)特性提(tí)出了更(gèng)高的要求。此外,通过(guò)模态测试(shì)与分(fèn)析(xī)建立机床的(de)结构动力学模型,也成为优化机床设(shè)计与性能、及早发现潜(qián)在(zài)问题(tí)的有效途径。
对于机床的模态分析(xī)而言,更是一项“精细(xì)活”。其主要是(shì)使用力锤、激振器(qì)或(huò)者激振台产生脉冲冲击,利用加速度传感器在多点进行同步响应信号的(de)采集,再用数学分(fèn)析方法计(jì)算机械结构的固有振动特性,每一(yī)个模(mó)态都(dōu)有特(tè)定的固有频(pín)率、阻尼比和模态振型(xíng)。这套(tào)系统此前(qián)一直由国(guó)外公司提(tí)供(gòng),不仅面临着市场供货不足的问题(tí),其高昂的价格也让人望而却步(bù)。
除此之外,国外模态试验(yàn)系统也面临着技术瓶颈。为(wéi)保证实验数据精度(dù)和振型(xíng)辨识要求,需要在数(shù)控机床的主轴、立柱和工作台布置(zhì)几十个测点,每个测点采(cǎi)用XYZ三向加速(sù)度传感器(qì),采集通(tōng)道高达100路以上。国外系统的模态测试系(xì)统一般仅有32通道(dào),只能采取分区测(cè)试的方法,不仅非常耗时,而且由于各区域的测试不是在同(tóng)一(yī)激励下进(jìn)行(háng)的,后续分析计算也极为(wéi)复杂(zá)。
针对数控机床(chuáng)模(mó)态试验,为客户量身打造了(le)一(yī)套104通道同步振动(dòng)模态测(cè)试系统。该系统采(cǎi)用13张PCIE-1803,每片PCIE-1803支持(chí)8路信号,共104路,使用内部(bù)同步总线可实现纳秒级同(tóng)步时间,误差小于100ns。
此外通过增加主机系(xì)统,可以实现200通道以上(shàng)的(de)同步(bù)采集。应变片信号采集(jí)通(tōng)过2片(piàn)PCIE-1813 实(shí)现,系统选用IPC-623BP机箱配合PCE-7B17底板支持15片PCIE板卡。软件兼备加速规(guī)传感(gǎn)器的灵敏度、供电(diàn)方式(shì)、耦(ǒu)合方式、采样频率等设置(zhì),同时具有数据采集、曲线(xiàn)显(xiǎn)示(shì)和(hé)数据(jù)保存(cún)的功(gōng)能,实为打造系统(tǒng)级国产化的理想路径。有效(xiào)解决了国外模态测试系统价格高、备件不足(zú)的弊端,保证了系统的精度(dù)和稳定性,在与客(kè)户的密切合作与快速(sù)服(fú)务(wù)中(zhōng),高(gāo)效(xiào)完成国产(chǎn)化替代的进程(chéng)
测控设备(bèi)国产化“三部(bù)曲(qǔ)”,第一曲“系统级国产(chǎn)化”已完(wán)美谢幕。放眼未来,国产化之路任重道(dào)远,仍有诸多挑战等待突破,等待我们探(tàn)索(suǒ)其背后的(de)机遇。下一(yī)期“OS级国产(chǎn)化”,我们(men)将(jiāng)带你揭开中国操(cāo)作系统国(guó)产化(huà)的序幕,敬请关注!